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產(chǎn)品中心

PRODUCT CENTER

產(chǎn)品等級(jí)：化學(xué)級(jí)4.5N 電子級(jí)5N
六氟乙烷 C2F6
  • 純度：99.995%-99.999%
  • 別名：Hexafluoroethane
  • 危險(xiǎn)化學(xué)品等級(jí)：2.2
  • 包裝：43L DOT鋼瓶
  • CAS NO: 76-16-4
  • 標(biāo)識(shí)：不燃
  • 充裝量：30KG/5m3
  • UN NO: UN2193
  • 運(yùn)輸狀態(tài)：液態(tài)氣體
  • 氣體壓力：3mpa
  • 閥門型號(hào)：CGA660
  • 接口螺紋：右旋 正絲
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產(chǎn)品介紹

六氟乙烷作為等離子蝕刻工作氣體在發(fā)展微電子工業(yè)方面起著重要作用，是加工超大規(guī)模集成塊工藝中所必需的介質(zhì)，又用做制冷和空調(diào)的冷媒。六氟乙烷還可與HFC-23組成不損害臭氧層的共沸劑R-508B,R-508B用做多級(jí)壓縮循環(huán)中在低溫段替代CF-13和R-503的替代物，還可用做化學(xué)反應(yīng)中的添氟劑，電氣設(shè)備的絕緣劑和高介電強(qiáng)度冷卻劑，器件表面清洗和光纖生產(chǎn)。


注意事項(xiàng)：

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理化特性
化學(xué)式C2F6危險(xiǎn)貨物編號(hào)22034
理化性質(zhì)外觀與性狀無(wú)色無(wú)臭氣體。溶解性微溶于水
熔點(diǎn)（℃）-101℃  相對(duì)密度(水=1)4.7
沸點(diǎn)（℃）-78℃臨界溫度（℃）19.7℃
毒性及健康危害侵入途徑吸入。
健康危害純品幾乎無(wú)毒，空氣中濃度較高時(shí)，應(yīng)該佩戴防毒面具。緊急事態(tài)搶救或撤離時(shí)，建議佩戴自給式呼吸器。避免高濃度吸入
急救方法

吸入：脫離現(xiàn)場(chǎng)至空氣新鮮處。呼吸困難給輸氧。呼吸停止時(shí)，立即進(jìn)行人工呼吸。就醫(yī)。滅火方法：切斷氣源。噴水冷卻容器，可能的話將容器從火場(chǎng)移至空曠處。霧狀水。

 

技術(shù)指標(biāo)

 

產(chǎn)品規(guī)格

99.995%

99.999%

氧氣(O2)

＜4ppm

＜1ppm

 氮?dú)?N2)

＜9ppm

＜4ppm

甲烷 (CH4)

＜5ppm

＜1ppm

一氧化碳(CO)

＜1ppm

＜1ppm

二氧化碳(CO2)

＜2ppm

＜1ppm

水(H2O)

＜7ppm

＜1ppm

酸度(氯化氫)

＜0.1ppmw

＜0.1ppm

 

 

 

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