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四氟化碳在常溫常壓下為無色無臭有輕微醚味的氣體。空氣中不燃燒,是比較穩(wěn)定的無毒物質。但是在高溫時,或與可燃氣體一同燃燒時,分解出有毒的氟化物。在1000℃以上能與二氧化碳形成羰基氟。微溶于水,在25℃,101.325kPa時,水中溶解度為0.0015%(重量)。有輕微的水解作用。。四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體,可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅,磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗,太陽能電池的生產(chǎn),激光技術、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態(tài),印刷電路生產(chǎn)中
注意事項:
化學式 | CF4 | 危險貨物編號 | 22033 | |
理化性質 | 外觀與性狀 | 無色無臭氣體。 | 飽和蒸氣壓(kpa) | 13.33kap(15.07) |
熔點(℃) | -186.8℃ | 相對密度(空氣=1) | 3.038 | |
沸點(℃) | -128℃ | 臨界溫度(℃) | -45.6℃ | |
毒性及健康危害 | 侵入途徑 | 吸入。 | ||
健康危害 | 吸入高濃度四氟化碳出現(xiàn)呼吸困難、嘔吐等窒息癥狀,接觸液體會造成冷燒傷。 | |||
急救方法 | 吸入時,迅速脫離現(xiàn)場至空氣新鮮處,保持呼吸道通暢,保證溫暖,如出現(xiàn)凍瘡時,就醫(yī);皮膚與液體接觸發(fā)生凍傷時,用大量水沖洗,不要脫掉衣服,并給予醫(yī)療護理;眼睛接觸液體時,先用大量水沖洗數(shù)分鐘,然后就醫(yī)。 |
產(chǎn)品規(guī)格 | 99.99% | 99.999% | 99.9999% | |||||
氮氣(N2) | <40ppm | <5ppm | / | |||||
氧氣(O2) | <20ppm | <2ppm | <100ppb | |||||
氬氣(Ar) | / | / | <20ppb | |||||
氫氣(H2) | / | / | <100ppb | |||||
總烴THC | <10ppm | <1ppm | <50ppb | |||||
一氧化碳(CO) | <10ppm | <1ppm | <50ppb | |||||
二氧化碳(CO2) | <10ppm | <1ppm | <100ppb | |||||
水(H2O) | <10ppm | <2ppm | <200ppb |
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