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產(chǎn)品中心

PRODUCT CENTER

產(chǎn)品等級:工業(yè)級4N 電子級6N (R14)
四氟化碳 CF4
  • 純度:99.99%-99.9999%
  • 別名Tetralfluoromethane
  • 危險化學品等級:2.2
  • 包裝:40L /47L DOT鋼瓶
  • CAS NO: 75-73-0
  • 標識:不燃
  • 充裝量:30KG
  • UN NO: UN1982
  • 運輸狀態(tài):液態(tài)氣體
  • 氣體壓力:12mpa
  • 閥門型號:CGA580/590
  • 接口螺紋:右旋 正絲
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產(chǎn)品介紹

四氟化碳在常溫常壓下為無色無臭有輕微醚味的氣體。空氣中不燃燒,是比較穩(wěn)定的無毒物質。但是在高溫時,或與可燃氣體一同燃燒時,分解出有毒的氟化物。在1000℃以上能與二氧化碳形成羰基氟。微溶于水,在25℃,101.325kPa時,水中溶解度為0.0015%(重量)。有輕微的水解作用。。四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體,可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅,磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗,太陽能電池的生產(chǎn),激光技術、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態(tài),印刷電路生產(chǎn)中


注意事項: 

四氟化碳3D圖形   點擊查閱

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理化特性
化學式CF4危險貨物編號22033
理化性質外觀與性狀無色無臭氣體。飽和蒸氣壓(kpa)13.33kap(15.07)
熔點(℃)-186.8℃  相對密度(空氣=1)3.038
沸點(℃)-128℃臨界溫度(℃)-45.6℃
毒性及健康危害侵入途徑吸入。
健康危害吸入高濃度四氟化碳出現(xiàn)呼吸困難、嘔吐等窒息癥狀,接觸液體會造成冷燒傷。
急救方法吸入時,迅速脫離現(xiàn)場至空氣新鮮處,保持呼吸道通暢,保證溫暖,如出現(xiàn)凍瘡時,就醫(yī);皮膚與液體接觸發(fā)生凍傷時,用大量水沖洗,不要脫掉衣服,并給予醫(yī)療護理;眼睛接觸液體時,先用大量水沖洗數(shù)分鐘,然后就醫(yī)。

 

技術指標

 

產(chǎn)品規(guī)格

99.99%

99.999%
99.9999%

氮氣(N2)

<40ppm

<5ppm

/

氧氣(O2)

<20ppm

<2ppm

<100ppb

氬氣(Ar)

 /

/

<20ppb

氫氣(H2)

/

/

<100ppb

總烴THC

<10ppm

<1ppm

<50ppb

一氧化碳(CO)

<10ppm

<1ppm

<50ppb

二氧化碳(CO2)

<10ppm

<1ppm

<100ppb

水(H2O)

<10ppm

<2ppm

<200ppb

 

 

 


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